Miri tat-titanju sputteringhuma l-materjali ewlenin fit-teknoloġija ta 'depożizzjoni fiżika tal-fwar (PVD), partikolarment fil-proċess ta' kisi sputtering. Huma magħmulin minn materja prima tat-titanju, u jintużaw ħafna f'industriji ta'-teknoloġija għolja bħall-elettronika, it-teknoloġija tal-informazzjoni, l-oqsma dekorattivi, u l-manifattura tal-ħġieġ tal-karozzi. F'dawn l-applikazzjonijiet, miri tat-titanju huma speċifikament applikati fil-kisi f'ċirkwiti integrati, kisi tal-wiċċ ta 'pannelli tal-wiri fuq panew ċatt, jew bħala saffi ta' kisi għal ħġieġ dekorattiv u funzjonali.
Ir-rekwiżiti ewlenin tal-prestazzjoni tal-miri tat-titanju sputtering
Il-prestazzjoni tal-materjali fil-mira tat-titanju tiddetermina direttament il-kwalità tal-films depożitati u l-prestazzjoni tal-apparat finali.
Purità: Il-purità hija waħda mill-indikaturi tal-prestazzjoni l-aktar kritiċi tal-materjal fil-mira, u taffettwa b'mod sinifikanti l-prestazzjoni tal-films. Ir-rekwiżiti għall-purità jvarjaw ħafna skont applikazzjonijiet differenti. It-tendenza fil-manifattura taċ-ċippa hija li l-wejfers tas-silikon qed jikbru u l-linji taċ-ċirkwiti qed isiru irqaq. Id-daqs tal-wejfers tas-silikon ġie aġġornat għal 12-il pulzier, u l-wisa 'tal-wajers naqas gradwalment għal 0.25 μm, 0.18 μm, u 0.13 μm. Għalhekk, ir-rekwiżiti ta 'purità għall-materjal tal-qalba, materjal fil-mira tat-titanju, saru dejjem aktar stretti. Għall-proċess ta '0.35 μm, huwa meħtieġ materjal fil-mira b'purità ta' 99.995%, u għall-proċess ta '0.18 μm, huwa meħtieġ materjal fil-mira b'purità ta' 99.999% jew saħansitra ultra-purità għolja.
Kontenut ta' impurità: L-impuritajiet fis-solidu tal-materjal fil-mira u l-ossiġnu u l-fwar tal-ilma adsorbiti fil-pori interni huma s-sorsi ewlenin ta 'kontaminazzjoni għall-films depożitati. Applikazzjonijiet differenti għandhom limiti estremament stretti fuq kontenuti speċifiċi ta 'impurità. Pereżempju, aluminju pur u ligi tal-aluminju użati fl-industrija tas-semikondutturi għandhom rekwiżiti speċjali estremament stretti għall-kontenut tal-metall alkali u l-kontenut tal-element radjuattiv.
Densità: Id-densità għolja hija kruċjali għat-tnaqqis tal-pori interni fil-materjal fil-mira u t-titjib tal-prestazzjoni tal-films sputtered. Id-densità tal-materjal fil-mira mhux biss taffettwa r-rata ta 'sputtering iżda wkoll tinfluwenza b'mod sinifikanti l-proprjetajiet elettriċi (bħal reżistenza) u l-proprjetajiet ottiċi tal-films. B'mod ġenerali, iktar ma tkun għolja d-densità, aħjar tkun il-prestazzjoni tal-film. Fl-istess ħin, densità għolja u qawwa għolja jistgħu wkoll jippermettu li l-materjal fil-mira jiflaħ aħjar l-istress termali matul il-proċess ta 'sputtering, u jnaqqas ir-riskju ta' qsim. Għalhekk, id-densità hija indikatur ewlieni tal-prestazzjoni għall-kejl tal-kwalità tal-materjal fil-mira.
Id-daqs u d-distribuzzjoni tal-qamħ: Id-daqs tal-qamħa tal-materjal fil-mira tvarja minn mikrometri għal millimetri. L-effiċjenza ta' sputtering ta' miri ta' qamħa-fin hija superjuri għal dik ta' miri ta'-qamħ oħxon. Materjali fil-mira b'daqs uniformi tal-qamħ huma aktar probabbli li jipproduċu films depożitati b'mod uniformi oħxon, li hija garanzija ta 'prestazzjoni ewlenija għal proċessi ta' kisi ta 'wiri ta' pannell ċatt ta 'żona kbira-.
Applikazzjonijiet ta 'Materjali fil-mira tat-titanju
Industrija tas-semikondutturi: Materjali fil-mira tat-titanju jistgħu jintużaw biex jimmanifatturaw komponenti elettroniċi, bħal fotodijodi, fototransistors, fotoriċevituri u trasmettituri, eċċ.
Qasam Optoelettroniku: Materjali fil-mira tat-titanju jistgħu jintużaw biex jimmanifatturaw apparati optoelettroniċi, bħal LEDs u ċelloli solari, eċċ.
Qasam tal-Materjali Manjetiċi: Materjali fil-mira tat-titanju jistgħu jintużaw biex jimmanifatturaw hard disks u kards manjetiċi, eċċ.
Oqsma oħra ta'-teknoloġija għolja: Materjali fil-mira tat-titanju jintużaw ħafna wkoll f'ligi ta'-temperatura għolja, materjali konduttivi, katalisti kimiċi, u tagħmir mediku, eċċ.
Dawn l-oqsma mhux biss jeħtieġu materjali b'saħħa għolja u reżistenza għall-korrużjoni, iżda wkoll proprjetajiet kimiċi stabbli u bijokompatibilità. Materjali fil-mira tat-titanju jissodisfaw b'mod preċiż dawn ir-rekwiżiti u saru materjal importanti f'dawn l-oqsma.
Baoji Yibaite New Materials Technology Co., Ltd- fornitur ta 'materjali fil-mira tat-titanju f'Baoji, iċ-Ċina